Verfahren zur Herstellung eines Siliciumcarbidbeschichteten Körpers

EP3732158 Art A1 4. November 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3732158
Aktenzeichen: EP18839657
Anmeldetag: 22. Dezember 2018
Veröffentlichung: 4. November 2020
Rechtsraum: EP
IPC: C04B41/87C04B41/00C23C16/32C04B41/50C23C16/02C23C16/04C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik

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