Negativtonabhebungsresistzusammensetzung mit einem Alkalilöslichen Harz und Vernetzern und Verfahren zur Herstellung von Metallfilmmustern auf einem Substrat

EP3732536 Art B1 4. Juni 2025

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3732536
Aktenzeichen
EP18830471
Anmeldetag
20. Dezember 2018
Veröffentlichung
4. Juni 2025
Erteilung
4. Juni 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/038
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Merck Patent GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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