Verarbeitungssystem, Messsonde, Formmessvorrichtung und Programm

EP3733346 Art A1 4. November 2020

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3733346
Aktenzeichen: EP17936809
Anmeldetag: 25. Dezember 2017
Veröffentlichung: 4. November 2020
Rechtsraum: EP
IPC: B23Q17/20G01B21/00G01B7/012G01B11/00// B23Q17/24G01B21/04G05B19/401

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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