Vorrichtung und Verfahren zum Aufbringen Flüssiger Medien auf eine Substratoberfläche

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3736050

Aktenzeichen

EP20173799

Anmeldetag

11. Mai 2020

Veröffentlichung

16. November 2022

Erteilung

16. November 2022

Rechtsraum

EP

IPC

B05C5/02B05B7/02B41M5/00H01L31/0224H01L21/67// B05C11/06B05C11/10

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Aufbringen flüssiger Medien (6) auf eine Substratoberfläche (21), enthaltend zumindest eine Fluidführungseinrichtung (3) und zumindest eine Fluid-fördereinrichtung (4) und zumindest eine Vorschub-einrichtung (25) zur Erzeugung einer Relativbewegung zumindest zwischen der Substratoberfläche (21) und einem Teil der Fluidführungseinrichtung (3), wobei die Vorrichtung weiterhin zumindest eine Antriebsein-richtung (1) zur Veränderung des Abstandes zwischen der Substratoberfläche (21) und einem Teil eines zweiten Längsabschnittes (32) der Fluidführungseinrichtung (3) enthält. Weiterhin betrifft die Erfindung die Verwendung einer solchen Vorrichtung und ein Verfahren zum Aufbringen flüssiger Medien (6) auf eine Substratoberfläche (21).

Anmelder

Firma

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete