Verfahren zum Abscheiden eines Ruthenium-Haltigen Films auf einem Substrat durch ein Zyklisches Abscheidungsverfahren
EP3737779
Art A1
18. November 2020
Anmelder: ASM IP Holding B.V., Universiteit Gent 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3737779
- Aktenzeichen
- EP18717686
- Anmeldetag
- 14. Februar 2018
- Veröffentlichung
- 18. November 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/02C23C16/04C23C16/18C23C16/40C23C16/455C23C16/56H01L21/28H01L21/285H01L21/3205H01M4/92
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASM IP Holding B.V.
Universiteit Gent - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇧🇪
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Belgische Universität in Gent, betreibt Lehre und Forschung in einem breiten Spektrum wissenschaftlicher und technischer Disziplinen.
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