Wachstumsverfahren mindestens eines Nanodrahts aus einer Schicht eines Niobium-Nitrids, die in Zwei Etappen Erhalten Wurde

EP3739634 Art A1 18. November 2020

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Aledia 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3739634
Aktenzeichen: EP20171111
Anmeldetag: 25. Oktober 2013
Veröffentlichung: 18. November 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/40H01L21/02H01L29/66H01L29/06H01L29/41B82Y10/00B82Y40/00H01L33/00H01L33/12H01L33/20C30B25/18C30B29/60C30B29/36C30B29/16C30B25/00C30B29/40H01L33/06B82Y20/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Aledia
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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