Dampfabscheidung von Molybdän unter Verwendung eines Bis(alkyl-Aren)molybdän-Vorläufers

EP3740600 Art A1 25. November 2020

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3740600
Aktenzeichen
EP19741829
Anmeldetag
15. Januar 2019
Veröffentlichung
25. November 2020
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/18C23C16/32C23C16/08C23C16/02H01L21/285H01L21/02H01L21/324H01L27/11551H01L27/11524
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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