Verdampfer zum Verdampfen eines Quellenmaterials, Materialabscheidungsquelle, Abscheidungsvorrichtung und Verfahren dafür

EP3743539 Art A1 2. Dezember 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3743539
Aktenzeichen: EP18701455
Anmeldetag: 23. Januar 2018
Veröffentlichung: 2. Dezember 2020
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/24C23C14/26C23C14/12C23C14/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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