Verfahren zur Untersuchung einer Probe mit einem Ladungsträgermikroskop

EP3745442 Art A1 2. Dezember 2020

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3745442
Aktenzeichen
EP19177314
Anmeldetag
29. Mai 2019
Veröffentlichung
2. Dezember 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/22G01N23/2251G01N23/2252G06K9/66G06T7/11H01J37/28H01J37/256
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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