Verfahren zur Bestrahlung eines Targets und System für eine Euv Strahlungsquelle

EP3745546 Art B1 7. Mai 2025

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3745546
Aktenzeichen: EP20179065
Anmeldetag: 5. September 2012
Veröffentlichung: 7. Mai 2025
Erteilung: 7. Mai 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/23H05G2/00G03F7/20G02F1/03H01S3/00H01S3/10H01S3/107H01S5/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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