Vorrichtung zur Abscheidung von im Nanometerbereich Teilchen auf einem Substrat

EP3746395 Art B1 10. November 2021

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3746395
Aktenzeichen: EP19701536
Anmeldetag: 30. Januar 2019
Veröffentlichung: 10. November 2021
Erteilung: 10. November 2021
Rechtsraum: EP
IPC: B82Y30/00C23C14/22C23C14/04C23C14/14H01J37/317H01J37/301H01J37/34H01J49/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von