Verfahren und Vorrichtung zur Pulsgasbereitstellung mit Isolierventilen

EP3746861 Art B1 23. August 2023

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3746861
Aktenzeichen: EP19705436
Anmeldetag: 28. Januar 2019
Veröffentlichung: 23. August 2023
Erteilung: 23. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G05D7/06G01F1/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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