Herstellungsverfahren einer Vielzahl von Resonatoren
Anmelder: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3748352
- Aktenzeichen
- EP20178063
- Anmeldetag
- 3. Juni 2020
- Veröffentlichung
- 14. Dezember 2022
- Erteilung
- 14. Dezember 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N29/02G01N29/24
Abstract
L'invention concerne un procédé de fabrication d'une pluralité de résonateurs, formés chacun par une membrane scellant une cavité, le procédé comprend : a) une étape de formation d'une pluralité de cavités, avantageusement identiques, à partir d'une face, dite face avant, d'un substrat support (10), la pluralité de cavités comprend des cavités centrales et des cavités périphériques disposées autour de l'ensemble formé par les cavités centrales ; b) une étape de formation de membranes, dites respectivement, centrales (19c) et de membranes périphériques (19p) en recouvrement, respectivement, des cavités centrales et des cavités périphériques, par report d'un film de recouvrement sur la face avant du substrat support ; c) une étape de retrait d'au moins une partie des membranes périphériques (19p).
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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