Reaktive Ionenätzvorrichtung

EP3748668 Art B1 24. August 2022

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3748668
Aktenzeichen
EP18902867
Anmeldetag
6. Dezember 2018
Veröffentlichung
24. August 2022
Erteilung
24. August 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3065H05H1/46H01J37/32H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ULVAC, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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