Verfahren zur Formung einer Vertikalen Feldeffekttransistorvorrichtung

EP3748683 Art A1 9. Dezember 2020

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3748683
Aktenzeichen: EP19178418
Anmeldetag: 5. Juni 2019
Veröffentlichung: 9. Dezember 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/66H01L21/28H01L29/78H01L29/161

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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