Lift Beschichtungsvorrichtung und Verfahren

EP3749795 Art B1 8. Dezember 2021

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3749795
Aktenzeichen: EP19714864
Anmeldetag: 5. Februar 2019
Veröffentlichung: 8. Dezember 2021
Erteilung: 8. Dezember 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/04B23K26/02B23K26/06C23C14/28C23C14/54B23K26/073B23K26/082// H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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