Ausrichtungsvorrichtung, Ausrichtungsverfahren, Lithographiegerät und Verfahren zur Herstellung eines Artikels

EP3751347 Art B1 12. Juli 2023

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3751347
Aktenzeichen: EP20174649
Anmeldetag: 14. Mai 2020
Veröffentlichung: 12. Juli 2023
Erteilung: 12. Juli 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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