Verfahren zur Dampfabscheidung von Ruthenium unter Verwendung eines Sauerstofffreien Co-Reaktanten

EP3752655 Art A1 23. Dezember 2020

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3752655
Aktenzeichen: EP19704000
Anmeldetag: 7. Februar 2019
Veröffentlichung: 23. Dezember 2020
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/18C23C16/56C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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