Punktätzmodul mit Ringförmigem Oberflächenentladungsplasmagerät und Verfahren zur Steuerung des Ätzprofils eines Punktätzmoduls
Anmelder: Korea Institute of Fusion Energy, Korea Basic Science Institute 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3754695
- Aktenzeichen
- EP19754792
- Anmeldetag
- 13. Februar 2019
- Veröffentlichung
- 23. Dezember 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01L21/3065H01J37/32H05H1/46
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Korea Institute of Fusion Energy
Korea Basic Science Institute - Land
- 🇰🇷 Südkorea
Das Korea Basic Science Institute ist eine staatliche südkoreanische Forschungseinrichtung mit Sitz in Daejeon, die wissenschaftliche Geräte und Analytik für andere Forschungseinrichtungen bereitstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik sowie Halbleiter- und Elektronikbauelemente. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2002 bis 2025 ab.
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SKM-IP PartGmbB wurde im Dezember 2022 von fünf ehemaligen Boehmert & Boehmert-Patentanwälten gegründet, eine der größten Münchner Kanzlei-Ausgründungen der vergangenen Jahre. Betreut Maschinenbau sowie Biotechnologie und Life Sciences, unter anderem für Fraunhofer und Helmholtz, dazu Marken- und Urheberrecht.