Pvd-Titandioxidbildung unter Verwendung von Sputterätzen zum Stoppen des Kristallisationsbeginns bei Dickschichten

EP3755823 Art A1 30. Dezember 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3755823
Aktenzeichen: EP19753639
Anmeldetag: 28. Januar 2019
Veröffentlichung: 30. Dezember 2020
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/58C23C14/08C23C14/34C23C14/50H01J37/32H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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