Verfahren zur Doppelseitigen Bearbeitung mittels eines Strukturierten Vakuum-Chucks

EP3756215 Art B1 7. August 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3756215
Aktenzeichen: EP19757895
Anmeldetag: 29. Januar 2019
Veröffentlichung: 7. August 2024
Erteilung: 7. August 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/683G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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