Verfahren zur Bearbeitung eines Maskenträgers zur Ermöglichung einer Besseren Filmqualität

EP3756217 Art A1 30. Dezember 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3756217
Aktenzeichen: EP19757893
Anmeldetag: 28. Januar 2019
Veröffentlichung: 30. Dezember 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768H01L21/033H01L21/02H01L21/324C23C16/56H01L21/3105C23C16/40G03F1/22G03F1/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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