Chip zur Bewertung eines Substrats und Substratsbewertungsvorrichtung

EP3757559 Art B1 15. Mai 2024

Anmelder: Osaka University, Yamato Scientific Co. Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3757559
Aktenzeichen: EP19757737
Anmeldetag: 21. Februar 2019
Veröffentlichung: 15. Mai 2024
Erteilung: 15. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01N25/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Osaka University
Yamato Scientific Co. Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Osaka University

Staatliche Universität in Osaka, Japan, eine der führenden Forschungsuniversitäten des Landes mit Schwerpunkten in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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