Resistunterschichtfilmbildende Zusammensetzung und Verfahren zur Herstellung von Mustern

EP3757678 Art A1 30. Dezember 2020

Anmelder: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3757678
Aktenzeichen: EP19794058
Anmeldetag: 26. April 2019
Veröffentlichung: 30. Dezember 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11G03F7/20G03F7/26G03F7/09H01L21/31H01L21/311

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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