Vorrichtung und Verfahren zum Bewegen eines Objekts in eine Bearbeitungsstation, Fördersystem und Verarbeitungsvorrichtung

EP3758049 Art B8 23. März 2022

Anmelder: MKS IP Association, Atotech Deutschland GmbH & Co. KG, Atotech Deutschland GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3758049
Aktenzeichen: EP19182628
Anmeldetag: 26. Juni 2019
Veröffentlichung: 23. März 2022
Erteilung: 23. März 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01L21/677H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MKS IP Association
Atotech Deutschland GmbH & Co. KG
Atotech Deutschland GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 MKS IP Association

Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.

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🇩🇪 Atotech Deutschland

Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von