Verfahren zur Herstellung eines Siliciums auf einem Nitridsubstrat

EP3761343 Art A1 6. Januar 2021

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3761343
Aktenzeichen: EP19184224
Anmeldetag: 3. Juli 2019
Veröffentlichung: 6. Januar 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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