Zusammensetzung mit Unterdrückter Aluminiumoxidschädigung und Verfahren zur Herstellung eines Halbleitersubstrats damit

EP3761345 Art A1 6. Januar 2021

Anmelder: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3761345
Aktenzeichen: EP19761160
Anmeldetag: 27. Februar 2019
Veröffentlichung: 6. Januar 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304C11D7/08C11D7/10C11D7/18C11D7/26C11D7/32H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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