Verfahren zur Herstellung einer Stapelstruktur eines Dreidimensionalen Optischen Funktionsmaterials

EP3762778 Art B1 9. Juli 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3762778
Aktenzeichen
EP19763340
Anmeldetag
5. März 2019
Veröffentlichung
9. Juli 2025
Erteilung
9. Juli 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G03F7/00G03F7/16H01L21/027H01L21/02H01L21/324G02B5/18B29C64/124
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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