Extrem Ultraviolette Lithografievorrichtung

EP3764163 Art B1 12. April 2023

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3764163
Aktenzeichen: EP19185767
Anmeldetag: 11. Juli 2019
Veröffentlichung: 12. April 2023
Erteilung: 12. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F1/62B01D71/02G03F1/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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