Plasmaätzverfahren unter Verwendung eines Faraday-Käfigs

EP3764389 Art B1 10. Januar 2024

Anmelder: LG CHEM, LTD. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3764389
Aktenzeichen
EP19827477
Anmeldetag
18. Juni 2019
Veröffentlichung
10. Januar 2024
Erteilung
10. Januar 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3065G02B5/18G03F1/80H05H1/46H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
LG CHEM, LTD.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 LG Chem

Südkoreanisches Chemieunternehmen, das Batteriematerialien, Kunststoffe, petrochemische Produkte und pharmazeutische Wirkstoffe herstellt.

11.963 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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