Fluorierte Filtermembran, Filter und Verfahren
EP3765177
Art A1
20. Januar 2021
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3765177
- Aktenzeichen
- EP19767107
- Anmeldetag
- 11. März 2019
- Veröffentlichung
- 20. Januar 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D67/00B01D71/32B01D71/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar