Überwachung eines Verbrauchsgegenstandes in einem Chemisch-Mechanischen Poliergerät

EP3765238 Art B1 13. August 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3765238
Aktenzeichen: EP19766872
Anmeldetag: 6. März 2019
Veröffentlichung: 13. August 2025
Erteilung: 13. August 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G06N3/084B24B37/013B24B49/12B24B53/017G06T7/00B24B27/00B24B37/005B24B37/04B24B49/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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