Mechanische Verbindung für Mems- und Nems-Vorrichtungen zum Messen einer Druckveränderung und Vorrichtung, die eine Solche Mechanische Verbindung Umfasst

EP3766829 Art B1 29. November 2023

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3766829
Aktenzeichen
EP20185346
Anmeldetag
10. Juli 2020
Veröffentlichung
29. November 2023
Erteilung
29. November 2023
Rechtsraum
EP
IPC
B81B3/00B81B5/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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