Reinigungslösung zur Entfernung von Trockenätzrückständen und Verfahren zur Herstellung eines Halbleitersubstrats unter Verwendung davon

EP3767666 Art B1 27. März 2024

Anmelder: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3767666
Aktenzeichen: EP19768464
Anmeldetag: 5. März 2019
Veröffentlichung: 27. März 2024
Erteilung: 27. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/768C11D7/26C11D7/32C11D7/50C11D17/08H01L21/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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