Widerstandsbereichskontrolle in Schichten, die in einer Physikalischen Dampfabscheidungskammer Abgeschieden Sind

EP3768872 Art A1 27. Januar 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3768872
Aktenzeichen: EP19771029
Anmeldetag: 20. März 2019
Veröffentlichung: 27. Januar 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/08C23C14/34H01J37/34H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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