Verfahren zur Herstellung einer Vergrabenen Metallleitung

EP3772091 Art B1 9. April 2025

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3772091
Aktenzeichen: EP19189796
Anmeldetag: 2. August 2019
Veröffentlichung: 9. April 2025
Erteilung: 9. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/74H01L23/528

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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