Vertikale Verbindungshalbleiter-Struktur und Verfahren zum Herstellen Derselbigen

EP3772109 Art A1 3. Februar 2021

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3772109
Aktenzeichen
EP20188674
Anmeldetag
30. Juli 2020
Veröffentlichung
3. Februar 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L29/26H01L29/16B82Y10/00H01L21/768H01L23/522H01L29/06H01L29/66H01L29/737H01L29/861B82Y40/00H01L21/331H01L21/329
Offizieller Volltext

Abstract

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Firmen
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

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