Piezoelektrisches Bauelement und Herstellungsverfahren dafür

EP3772115 Art B1 12. Juni 2024

Anmelder: Sumitomo Chemical Company, Limited, SUMITOMO CHEMICAL COMPANY LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3772115
Aktenzeichen: EP20188619
Anmeldetag: 30. Juli 2020
Veröffentlichung: 12. Juni 2024
Erteilung: 12. Juni 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H10N30/00H10N30/853H10N30/076// H03H9/02

Abstract

A piezoelectric structure (10) is disclosed which includes a substrate (1), at least an electrode film (2, 4), and a piezoelectric film (3) of potassium sodium niobate (K<1-x>Na<x>)NbO<3> with 0 < x < 1, wherein the piezoelectric film comprises crystals having a grain size distribution with a standard deviation of 0.42 µm or less. The piezoelectric film may be produced by using a faster initial deposition rate of a sputtering process, for example.

Anmelder

Firmen: Sumitomo Chemical Company, Limited
SUMITOMO CHEMICAL COMPANY LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Petrochemie, Agrochemie, Pharmazeutika, Elektronikmaterialien, Energiematerialien und Kunststoffen.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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