Metrologie für Oled-Herstellung mittels Photolumineszenzspektroskopie

EP3775848 Art A1 17. Februar 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3775848
Aktenzeichen: EP19784332
Anmeldetag: 29. März 2019
Veröffentlichung: 17. Februar 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/64G01N21/84G01B11/06H10K71/70

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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