Verfahren zum Transfer einer Piezoelektrischen Schicht auf ein Trägersubstrat

EP3776641 Art B1 15. Mai 2024

Anmelder: SOITEC 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3776641
Aktenzeichen
EP19718438
Anmeldetag
21. März 2019
Veröffentlichung
15. Mai 2024
Erteilung
15. Mai 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H10N30/073H03H3/02H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SOITEC
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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