Verfahren zur Messung der Schichtdicke einer Optisch Transparenten Schicht, insbesondere einer Flüssigkeitsschicht

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3779352

Aktenzeichen

EP19192074

Anmeldetag

16. August 2019

Veröffentlichung

17. Februar 2021

Rechtsraum

EP

IPC

G01B11/06// G01B11/25G01N21/958

Abstract

Bei einem Verfahren zur Messung der Schichtdicke einer optisch transparenten Schicht, insbesondere einer Flüssigkeitsschicht, wird ein optischer Strahl durch ein optisch transparentes Koppelelement (3, 5) hindurch so in die Schicht (4) eingekoppelt, dass er an einer Oberfläche der Schicht (4) durch Totalreflexion reflektiert wird. Der optische Strahl wird nach der Reflexion an der Oberfläche durch das optisch transparente Koppelelement (3, 5) hindurch auf einen ortsauflösenden optischen Detektor (8) gerichtet, um eine Position des optischen Strahls auf dem Detektor (8) zu erfassen. Aus einem Versatz dieser Position gegenüber einer Referenzposition auf dem optischen Detektor (8) wird dann die Schichtdicke der Schicht (4) bestimmt. Die Referenzposition entspricht dabei einer Position, auf die der optische Strahl bei interner Reflexion an der Oberfläche des Koppelelementes (3, 5) trifft, die bei der Messung der Schichtdicke in Kontakt mit der Schicht (4) ist. Das vorgeschlagene Verfahren lässt sich kostengünstig durchführen und ermöglicht auch die Vermessung von Schichten unterhalb von 100 µm mit hoher Genauigkeit.

Anmelder

Firma

Universität Stuttgart

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete