Ladungsteilchenstrahlvorrichtung

EP3779403 Art B1 3. Juli 2024

Anmelder: Hitachi High-Tech Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3779403
Aktenzeichen: EP18912356
Anmeldetag: 29. März 2018
Veröffentlichung: 3. Juli 2024
Erteilung: 3. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01N15/06G01N23/2251G01N23/04G01N15/14G01N23/20091G01N15/0205G01N15/1433// G01N15/00G01N15/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Tech Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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