Negative Lichtempfindliche Zusammensetzung für Euv-Licht, Verfahren zur Musterformung und Verfahren zur Herstellung einer Elektronischen Vorrichtung

EP3779596 Art A1 17. Februar 2021

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3779596
Aktenzeichen: EP19776054
Anmeldetag: 26. Februar 2019
Veröffentlichung: 17. Februar 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/039G03F7/004G03F7/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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