Verdampfungsquelle zur Abscheidung von Verdampftem Material auf einem Substrat, Abscheidungsvorrichtung, Verfahren zur Messung eines Dampfdrucks von Verdampftem Material und Verfahren zur Bestimmung einer Verdampfungsrate eines Verdampften Materials

EP3781721 Art A1 24. Februar 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3781721
Aktenzeichen: EP18719127
Anmeldetag: 18. April 2018
Veröffentlichung: 24. Februar 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/24C23C14/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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