Verfahren, Messsystem und Lithographiegerät

EP3781988 Art B1 1. Juni 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3781988
Aktenzeichen: EP19718328
Anmeldetag: 15. April 2019
Veröffentlichung: 1. Juni 2022
Erteilung: 1. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B7/00G02B7/182

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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