Vakuumpumpe und Steuerungsvorrichtung für Vakuumpumpe

EP3783227 Art A1 24. Februar 2021

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3783227
Aktenzeichen
EP19788949
Anmeldetag
20. März 2019
Veröffentlichung
24. Februar 2021
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D29/058
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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