Lichtempfindliche Zusammensetzung für Euv-Licht, Mustererzeugungsverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Elektronischen Vorrichtung

EP3783434 Art A8 14. April 2021

Anmelder: FUJIFILM Corporation, FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3783434
Aktenzeichen: EP19789468
Anmeldetag: 12. April 2019
Veröffentlichung: 14. April 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/004G03F7/012G03F7/039G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: FUJIFILM Corporation
FUJIFILM CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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