Feldverzerrte Nichtlineare Optische Metrologie mit einer Koronaentladungsquelle
EP3785022
Art A1
3. März 2021
Anmelder: SK Hynix Inc., Femtometrix, Inc. 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3785022
- Aktenzeichen
- EP19793928
- Anmeldetag
- 26. April 2019
- Veröffentlichung
- 3. März 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/95G01N21/63H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SK Hynix Inc.
Femtometrix, Inc. - Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
SK hynix
Südkoreanischer Halbleiterhersteller, der Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash für Computer, Server und mobile Geräte produziert.
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