Herstellung und Verwendung von Dosiskarten und Merkmalsgrössenkarten Während der Substratverarbeitung

EP3785079 Art A1 3. März 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3785079
Aktenzeichen: EP19791517
Anmeldetag: 27. März 2019
Veröffentlichung: 3. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F1/76G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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