Radikalausgabemonitor für eine Entfernte Plasmaquelle und Verfahren zur Verwendung

EP3785494 Art B1 18. Februar 2026

Anmelder: MKS Inc., MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3785494
Aktenzeichen: EP19818618
Anmeldetag: 12. Juni 2019
Veröffentlichung: 18. Februar 2026
Erteilung: 18. Februar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: H05H1/00H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MKS Inc.
MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von